Микромехатроника — В учебном пособии широко охвачены различные аспекты микромехатроники и микросистемной техники. В книге детально рассмотрены такие вопросы, как история и перспективы развития микросистемной техники, структура и технологии изготовления микроэлектромеханических систем, а также различные сферы их применения.
Книга предназначена для освоения дисциплины «Микромехатроника» студентами магистратуры, обучающимися по направлению 15.03.06 «Мехатроника и робототехника», а также может быть полезна аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам соответствующих и близких специальностей.

Название: Микромехатроника
Автор: Баршутина М. Н.
Издательство: Тамбовский государственный технический университет
Год: 2014
Страниц: 219
Формат: PDF
Размер: 10,81 Мб
Качество: Отличное